2024年度中国光学学会科技创新奖特等奖——技术发明奖
本帖最后由 academic818 于 2024-12-31 10:12 编辑12月10日，中国光学学会公布了2024年度中国光学学会科技创新奖项。浙江大学光电科学与工程学院刘旭、匡翠方教授团队成果喜获2024年度中国光学学会科技创新奖特等奖——技术发明奖。
超分辨并行激光直写光刻技术与装备完成人：刘旭、匡翠方、陈世祈、朱大钊、曹春、温积森、黄木旺、朱勤艳完成单位：浙江大学、香港中文大学、杭州玉之泉精密仪器有限公司、杭州电子科技大学、浙江大学杭州国际科创中心、福建福特科光电股份有限公司、浙江扬帆新材料股份有限公司项目介绍：刘旭教授、匡翠方教授团队联合香港中文大学等多家单位，围绕超分辨并行激光直写光刻技术与装备开展一系列研究，提出了多通道边缘光抑制与化学材料抑制的激光直写光刻新技术，不仅突破了光学衍射极限，还克服了单通道光刻效率低及光束波动引起的光刻稳定性差的问题，实现了高精度、高通量、高稳定性的激光纳米直写光刻，刻写精度达50 nm以下，并行光束通道数可达万束，建立了独特的3D纳米光刻制造的新途径。面向并行超分辨激光直写光刻技术与系统，自主研发了包括高通量并行直写技术、高精度超分辨焦斑调制技术、高精度光束稳定技术、高精度焦面跟踪技术、边缘光与材料抑制光刻胶技术、高性能控制系统及软件在内的全套关键核心技术，全面实现了以上技术与系统的自主可控，相关技术指标达到国际一流水平。联合团队的研究工作，在国际一流学术期刊上发表SCI论文23篇，取得了成体系的知识产权，申请国家发明专利77项，其中授权25项，取得软著证书6项，项目相关技术成果应用于国内70多家单位，与多家企业合作，进行技术转让与产业化，打破了欧美企业在直写光刻装备的垄断，建成了高端3D纳米直写光刻装置体系，取得了显著的经济及社会效益。
这光刻机在国内属于啥水准？ academic818 发表于 2024-12-31 10:21
这光刻机在国内属于啥水准？
这不是集成电路用的光刻机！所以没啥水准可谈 2019年设立光学科技奖以来第一个特等奖？ 吹就没用 发表于 2024-12-31 10:32
这不是集成电路用的光刻机！所以没啥水准可谈
懂就细说，不懂就少胡咧咧 沉淀一下，能拿一个国家发明二等奖吗 academic818 发表于 2024-12-31 11:30
懂就细说，不懂就少胡咧咧
假冒伪劣ID，818要认清正牌ID。 academic818 发表于 2024-12-31 10:21
这光刻机在国内属于啥水准？
这个技术应该是国际水平的。前几年苏大维格就有激光直写光刻设备，在国际属于领先。刘旭老师这个成果在技术上有明显提升。 academic818 发表于 2024-12-31 11:30
懂就细说，不懂就少胡咧咧
讲得还不够清楚？其他领域应用的光刻机跟集成电路用的不是一个量级的。 吹就没用 发表于 2024-12-31 14:41
讲得还不够清楚？其他领域应用的光刻机跟集成电路用的不是一个量级的。 ...
50纳米以内的芯片不是集成电路，什么叫集成电路？ academic818 发表于 2024-12-31 15:36
50纳米以内的芯片不是集成电路，什么叫集成电路？
不能只看这种偷换概念的尺寸！你不信问他能不能用于集成电路制成！再说集成电路都到5nm了，这种有何用？ academic818 发表于 2024-12-31 11:30
懂就细说，不懂就少胡咧咧
你还用问？在吹哥嘴里浙大的成果就是落后造假，哈工的成果就是世界顶尖 吹就没用 发表于 2024-12-31 16:38
不能只看这种偷换概念的尺寸！你不信问他能不能用于集成电路制成！再说集成电路都到5nm了，这种有何用？ ...
jg领域的基本64纳米以上就够用了 冒牌吹哥出来了 吹就没用 发表于 2024-12-31 10:32
这不是集成电路用的光刻机！所以没啥水准可谈
诸如此类的酸涩，只能降低阁下底线... wangsamuel 发表于 2024-12-31 18:13
冒牌吹哥出来了
kao, 又被它上当一次。如果是正牌“吹没有用”，俺还是愿意和吹哥调侃，遗憾，我上面误点击了它。 吹没有用 发表于 2024-12-31 11:46
假冒伪劣ID，818要认清正牌ID。
真货在这，吹哥，今晚哪去潇洒啊。 点赞浙大光电与光学....应该有技术发明奖二等或以上的水准吧 academic818 发表于 2024-12-31 10:21
这光刻机在国内属于啥水准？
激光直写和光刻机没有任何可比性，一个能达到200+wph的产率，一个只能叫小刀刻大象；
这里所谓的并行直写，目的是为了提高单次直写的产率，但也因为并行，因此只能加工周期性结构；如果说并行能让激光直写技术实现巨大飞跃，那更有前景的应该是电子束曝光而不是激光直写 吹就没用 发表于 2024-12-31 16:38
不能只看这种偷换概念的尺寸！你不信问他能不能用于集成电路制成！再说集成电路都到5nm了，这种有何用？ ...
严格来说，5nm只是工艺节点，对应的结构尺寸在20nm上下 看一下这个依托获奖的技术成立的公司：https://m.toutiao.com/is/iyFHnQks/ 国产光刻机来了!产研基地落地杭州,肩负解决“卡脖子”问题使命 - 今日头条 rpp1985 发表于 2024-12-31 22:47
看一下这个依托获奖的技术成立的公司：https://m.toutiao.com/is/iyFHnQks/ 国产光刻机来了!产研基地落地杭 ...
又来偷换概念，移花接木，蹭热点，这根本不是集成电路制造用的光刻机 粗看了下，大概是个改进的双光子光刻机器，专家们何以如此激动，居然给个特等？
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