集成电路设备与仪器科技发展论坛在武汉举办
6月13日，集成电路设备与仪器科技发展论坛在武汉举行。校长、中国仪器仪表学会理事长尤政院士参加开幕式并致辞。中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会主任委员、华中科技大学刘世元教授主持开幕式。来自全国高校及科研单位的百余位专家学者、技术骨干参加论坛，就集成电路设备、仪器及量测技术的前沿进展与产业发展趋势进行研讨尤政在致辞中指出，高端设备与测试仪器是芯片产业的“工业母机”与“测量标尺”。当前，我国在光刻、检测等核心装备领域已取得阶段性突破。他强调，要坚持原始创新、产教融合与开放协同，加快自主可控进程，为我国高水平科技自立自强筑牢坚实根基。
在主旨报告环节，多位院士及行业领军人物分享了最新研究成果。哈尔滨工业大学谭久彬院士以“新一代国家测量体系与仪器产业体系”为题，分析了仪器强国建设的底层逻辑，建议构建基于基本量常数定义的新一代计量体系，推动工业测量数字化智能化转型。华中科技大学陈学东院士以“GKJ动力学设计”为题的报告，聚焦纳米级制造装备面临的极微弱扰动、多场耦合及长时服役性能退化等难题，提出了“动力学设计”新范式，成果可辐射支撑各类高端装备发展。
在工艺与架构创新领域，中国科学院微电子研究所研究员叶甜春作“集成电路器件工艺突破创新”报告，展示了自主工艺体系对12英寸关键装备的支撑成效。长江存储首席科学家霍宗亮以“三维存储芯片集成电路工艺与量测创新发展之路”为题，解读了晶栈（Xtacking）架构技术路径，剖析了三维堆叠中的工艺与量测双重挑战。北京航空航天大学副校长赵巍胜教授在“我国自旋芯片设备与仪器产业链发展：十年积累、前景可期”报告中，回顾了自旋芯片产业链十年国产化历程。中国电子科技集团有限公司测试仪器首席科学家年夫顺作“集成电路与三维封装器件测试技术进展”报告，介绍了国内四大类测试仪器的成体系自主化成果，并展望了硅光集成、AI赋能等新方向。
在极端光刻胶检测与光刻图形化方面，上海大学副校长张建华教授的报告“极端光刻胶检测新方法新装置”提出了针对极端工艺条件的全新检测方法与装置，攻克了精准检测技术瓶颈。中国科学院微电子研究所研究员韦亚一以“7nm及以下技术节点芯片的光刻图形化方案”为题，详解多次曝光技术的选型与应用逻辑，为先进制程光刻工艺提供了实操方案。深圳中科飞测科技股份有限公司首席科学家黄有为作“3DIC精密量检测技术与设备”报告，推出了成套解决方案，攻克了3DIC集成中的多项量测难题。中国科学院微电子研究所研究员周维虎在“集成电路量检测技术研究进展”报告中展示了微纳尺度检测新技术，适配当下集成电路工艺检测需求。西安交通大学杨树明教授以“集成电路前道量检测技术及设备”为题，系统梳理了前道量测主流技术并预判未来装备发展方向。
论坛由中国仪器仪表学会主办，中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会、华中科技大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学先进光刻机技术教育部工程研究中心、深圳中科飞测科技股份有限公司联合承办。
第一次知道这个机构以前有报道过吗 jkm 发表于 2026-6-18 16:40
第一次知道这个机构以前有报道过吗
省部级平台，级别还不高，没有多少人关注 教育部工程研究中心 级别还属于省部级但是国家队里面的
目前，国家队的专对于光刻机的平台 好像就这个吧？
希望能起来 华科不知不觉又拿了两个教育部工程中心，虽然是省部级，但是不少国家级平台都是省部级升级的啊 我的先人啊 发表于 2026-6-22 11:23
华科不知不觉又拿了两个教育部工程中心，虽然是省部级，但是不少国家级平台都是省部级升级的啊 ...
省级和部级虽然级别一样 但其实层面是不一样的
省级平台说白了是地方平台
部级平台（特别是教育部 科技部 ） 是国家层面的平台
搞好了 升级不难
华科这个光刻机的教育部平台 虽然级别不高
但可能是光刻机领域少有的国家层面的平台了吧？搞好了 还是很有前景的 吉林敖东01 发表于 2026-6-22 11:41
省级和部级虽然级别一样 但其实层面是不一样的
省级平台说白了是地方平台
部级平台（特别是教育部 科技 ...
我记得前一阵子，也是发的这种消息，显示华科还有个教育部工程中心，官网上没有的 看到了 是同一个，不过那个帖子是缩写，我还以为是什么呢
华中科技大学先进GKJ技术教育部工程研究中心 人工智能学院的自主智能无人系统教育部工程研究中心宣传好几年了，GKJ这个就静悄悄的，应该比较敏感，不宜宣传吧。
两个研究中心的研究方向都很好，还是要抓紧出大成果。有了大成果，评奖评院士升级平台才有可能。 abdc 发表于 2026-6-22 12:58
人工智能学院的自主智能无人系统教育部工程研究中心宣传好几年了，GKJ这个就静悄悄的，应该比较敏感，不宜 ...
是的
国家光刻机方面的平台 目前好像就看到这个吧
希望早点出成果
这种竞争少的领域平台 除了成果升级相对简单 光刻机最核心的----光学机械控制 正好是华科的强项 吉林敖东01 发表于 2026-6-22 13:20
是的
国家光刻机方面的平台 目前好像就看到这个吧
希望早点出成果
这个平台，感觉做出点成果，升级国家级水到渠成 华科布局平台这块都是很早就开始 吉林敖东01 发表于 2026-6-22 13:21
光刻机最核心的----光学机械控制 正好是华科的强项
前面机械学院一直在做光刻机的温控。光刻的时候会产生热量升温，温度升高了会导致光刻失败，这个也是发展浸润式光刻机的根本原因，液体中能保持温度稳定。 吉林敖东01 发表于 2026-6-22 13:21
光刻机最核心的----光学机械控制 正好是华科的强项
然而华科光学现在优势的方向和光刻机已经很难搭上关系了 念四 发表于 2026-6-22 20:16
前面机械学院一直在做光刻机的温控。光刻的时候会产生热量升温，温度升高了会导致光刻失败，这个也是发展 ...
你确定华科机械有人做浸液系统的温控？去年半导体装备分会都没听到过！
我看的怎么是浙大机械在做！ 天麟妖兽 发表于 2026-6-22 22:41
你确定华科机械有人做浸液系统的温控？去年半导体装备分会都没听到过！
我看的怎么是浙大机械在做！ ...
干式光刻机的温控，有没有做浸液系统的温控我就不知道了。
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