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发表于 2025-1-13 21:07:00
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zh_cti 发表于 2025-1-13 16:49
上海光机所EUV光源研究中心某大咖,2024年在某论坛上说过,EUV光刻机,国家要求只做不说,细节不能透漏,外 ...
近期,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室张军勇团队联合哈尔滨工业大学赵永蓬教授课题组首次完成EUV和软x射线聚焦光场的阵列调控与整形,解决了极紫外和x射线波段的衍射成像和干涉传感的元器件受限问题。相关成果以“Free light‑shape focusing in extreme‑ultraviolet radiation with self‑evolutionary photon sieves”为题,发表于Scientific Reports。 |
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