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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58) o& b. X9 S2 s
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
* T& Y( P( F+ n, ^' C先看今天北大、交大官网上 ...
* L5 [8 q8 q- G& D. _2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
% Y5 K& g% U; o; u# b北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介8 H9 Z8 F/ B# X! R$ q! ?' Q) F
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logic20020 N+ X7 I3 Y- V( s9 P9 p" }9 @
楼主 2007-9-5 00:30
% d8 P+ w3 P' r* e6 H回复. k$ b, ?, h9 b S: K: V
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
$ Q$ F; C9 Y/ y! D* m8 d2 b: D所属单位 信息科学技术学院
$ l4 C: A3 [9 v$ d X; J! p使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层" X; i: E3 I, T1 `
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
" r1 h8 s5 S: z+ C* \9 |5 M实验室主任 王阳元 ! c: D" W1 @$ O
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。! T/ {- n; i/ J! o6 L" y& O
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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