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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58/ F9 k8 U7 {( u/ s0 H! N
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
% r) Z9 f5 S. t先看今天北大、交大官网上 ...
6 ^! Z+ T7 K4 |2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
. g; I# U" Z" N) q. o北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
, i2 X& @2 a; ^ ^+ N& @; z, t来自: 电子与信息 >4 W& O7 W% y1 j4 F+ Y1 [+ c$ r

, L8 s" I+ D" M. [& ^# klogic20025 I5 x5 \6 `6 b$ P$ f/ r
楼主 2007-9-5 00:30! ^9 H: K: J; x. U5 h
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8 Q( I, k- R* c; z9 d9 P0 d微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)' m' t! s3 [. p* F% b8 \( Q( }$ k
所属单位 信息科学技术学院 9 B# a, Q) e: R! e0 D2 Y$ @
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层! {6 `/ Y& G1 N X$ C3 C
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* . y; m9 R: M8 H4 H/ |
实验室主任 王阳元
- P" d* P2 I* [2 z" u2 Z微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。; ~! Z* J2 u( H& F2 Y7 N% b
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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