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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58. P5 E2 B @) y' g6 u, L
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
; X, ]# }4 d; e0 D+ E先看今天北大、交大官网上 ...
; p1 `; E2 }! |( ~2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍0 \6 _+ K1 K( U3 N8 Z
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介
/ I' G' }5 M1 ]来自: 电子与信息 >
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logic2002
" C4 F. p5 j% {! `1 R楼主 2007-9-5 00:30- P: _0 ?& ^( t) N4 ?
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3 U& D1 D& ]8 O% f% P; F9 W& N B微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
, i; r, [1 j, |所属单位 信息科学技术学院
# _( `6 R) i1 [) F3 Q# H使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层
3 s" h' O% W9 a管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* / C6 @0 ]( r: G5 i4 t8 ?; d: y
实验室主任 王阳元 8 |& Y* {$ D) H: M% @
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
B5 _* e, ?+ f/ M. k( I 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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