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发表于 2025-1-17 00:27:02
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58- [# ~# o* Q. Y+ {" r+ Y
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
' H" o- X* N1 ~7 x, x/ r先看今天北大、交大官网上 ... 6 m) j2 x% z: o: G$ q9 X
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍. }' B- G9 K& v, K) w+ _, k
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介) X, G6 H; d' W
来自: 电子与信息 >, x( D" j5 H1 r8 x& R% G0 W4 K5 z
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logic2002
* _6 Z3 B8 I% e4 k# p! F! x楼主 2007-9-5 00:30 W1 G9 N' m/ D G/ v4 M
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4 }% d" z g# @7 y" T. ~微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
8 `, ^+ h1 D+ D, |9 w所属单位 信息科学技术学院 1 [+ `; {7 Q, O5 r) C
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层
" L% ~# g6 l; i管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室* 4 w: c5 u6 @5 @, T! m
实验室主任 王阳元
5 I0 P6 N5 Y: r; g微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。
% U4 K7 H) Y4 h5 I8 }; o% v 实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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