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发表于 2025-1-17 00:27:02
来自手机
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58
- s' T6 o$ z4 w# G北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。
* B/ b7 {0 D* G3 Y4 R先看今天北大、交大官网上 ... ! P/ `" f4 q% [5 v* H, m
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍, N1 Y- e9 `8 Q+ H0 j: c# _
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介7 s( Z$ l' W5 m, R$ R& B
来自: 电子与信息 >0 z2 R( W* C: @1 \$ z* E) W

6 S4 u7 v* l7 w; f& Ilogic2002: T% P _2 ~3 f* `
楼主 2007-9-5 00:30
- G; i$ U0 ?& y1 U7 z6 M. H. G回复* N7 f$ y5 V7 U8 U
微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
2 I6 }; K/ ^7 h& I) j所属单位 信息科学技术学院 0 n% F+ m" j9 t0 U
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层4 \% X" F! s- [& C o
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
0 ? k+ Q: Y3 `/ e7 {7 V( C# L+ Y实验室主任 王阳元 6 |3 ~' }% q% c; V, C7 l+ j. J
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。6 q: r0 D; x) m" w
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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