|
发表于 2025-1-17 00:27:02
来自手机
|
显示全部楼层
tsenway 发表于 2025-1-16 10:58$ \8 C2 N$ d, |$ f0 o# P4 M
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上,很明显是有点语嫣不详。5 @7 o' Q. B. a6 F
先看今天北大、交大官网上 ...
8 O) W9 R" G3 Z$ s; X0 P. z2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍& h; O, P% e8 I
北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介" ^6 Y$ p7 N4 z" j
来自: 电子与信息 >5 l. Z9 V0 }& l" Z

5 w5 V( `, h2 Q1 Plogic2002* l4 q3 N$ i6 V+ c2 a# E; R
楼主 2007-9-5 00:30
9 s2 a5 { a: R: L回复
. A( O2 {/ B" y+ D6 F# c" g: c微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)0 g& g) r0 N: j4 U \. y; \
所属单位 信息科学技术学院 5 j) ^5 u, q8 L. n4 F
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层' U5 X% |6 W/ g2 g( t: Q
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
' i* F1 U1 k, f& y9 `. }+ p实验室主任 王阳元 % i5 o( b+ y$ c+ r
微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境,拥有900平方米超净厂房,150余台套工艺实验和检测设备,价值超过8000万元,是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。' C2 s6 b% G# _, J
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面,实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师,是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
|