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发表于 2025-1-17 00:27:02
来自手机
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tsenway 发表于 2025-1-16 10:58" o. n ~$ n% A( ]4 S1 K8 g. Q
北大在“微纳加工技术”这个项目上与交大关联的说法上，很明显是有点语嫣不详。$ V" p2 g3 q2 p4 [/ X# o9 b
先看今天北大、交大官网上 ...
2007年就有北京大学这个重点实验室的介绍
" `8 S* m9 k0 C北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室简介" ?+ e& ^8 R2 ^4 a$ d5 ?: B& Y* h
来自： 电子与信息 >: C, }8 {8 W5 g& q0 l* E
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logic2002
4 o- f! h# \. ], m楼主 2007-9-5 00:30
0 ?* S/ K6 C6 R8 t) Y; K回复
' Q8 {; Y# ]1 |1 n$ i+ N0 f- H微米/纳米加工技术国家重点实验室 (编码:00805)
0 O/ u) R( _" u1 D; ]所属单位 信息科学技术学院 4 V9 e) F% W7 w' A6 w p, W
使用面积 900 建立年份 1987 实验室地点 微电子所研究院一层8 C: h5 \* h7 T+ q, T
管理级别 国家重点 实验室类别 科研 实验室*
& x, Z4 e; `! c+ v" _ x- K实验室主任 王阳元
% ^* P" m% e( e$ C' E6 X微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境，拥有900平方米超净厂房，150余台套工艺实验和检测设备，价值超过8000万元，是北京大学设备价值最高的科研实验室之一。+ B" i/ i1 B8 ^) P' j
实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面，实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师，是国内配套最全的硅MEMES研究环境。 |
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