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发表于 2025-2-17 12:19:29
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本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑 ! T S- M7 ?% t& i' u1 t
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我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。' I2 S' y$ H/ N' h
原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。
1 U, y( {! L7 _# N$ h所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:1 a; H1 _7 \1 K; Y5 m" l4 ^
属于全国重系列的
* p1 D. s& N! U微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);5 z+ J1 `0 b- n4 B2 a- [
深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);$ G. H# w, l1 ^ u( ^5 c: [
属于AEMD平台的
2 E8 \# G% o1 D6 S含硅基集成电路的先进电子材料与器件。6 W- e1 L9 v4 i
另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。, K: s; w( A: @
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