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发表于 2025-2-17 12:19:29
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本帖最后由 tsenway 于 2025-2-17 12:24 编辑
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. c9 P/ q" _. \1 [5 I我交AEMD平台(先进电子材料与器件校级共享平台)是自筹资金6000万,开通两条不同空气净化条件的8吋、6吋晶圆流水线,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。
1 Y& ?6 q, Z9 c' ]! m原因大概是原本与P大共建微纳技术平台,2012年,主管部门給我交的建设方向是非硅基的MENS(搞异质异构时含硅基),而把硅基的MENS归P大。既然如此分工,我交自筹资金6000万建设的8吋、6吋硅基晶圆流水线,就单独出来,变成AEMD平台。
) }& ?; ~( @) o, T4 G$ {所以我交的微纳技术MENS就出现多个分支:4 h% I7 E$ `! X3 Z
属于全国重系列的
5 @: @: p# n& P3 m% g微纳加工技术全国重点实验室(除硅基之外的一切对象,异质异构项目含硅基);. l: P: {) R: W; H! j% S
深海科学与检测全国重点实验室(在长兴海洋实验室内开建,含整套海洋声磁光电及温度压力传感器MENS制作流水线);# \/ t( I! o* B, j
属于AEMD平台的
. z: k0 }0 z1 ?* u8 D' |4 [3 V. P7 I含硅基集成电路的先进电子材料与器件。+ J- k7 s( m3 ` i/ ?* {
另有一个与深圳大学共建的“射频异质异构技术全国重点实验室”也是相似工艺路线的微纳加工技术。
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