哈工大EUV光源的攻坚。冰城极光。

小梅沙

一、芯片界的"光之战争"：中国人自己点亮极紫外

去年参观上海微电子展，隔着防护玻璃见过EUV光刻机的真容。工作人员说这台机器发射的极紫外光，能量相当于太阳表面亮度的10亿倍。更震撼的是，这种光在空气中走不到3厘米就会消失，整套设备必须在比月球表面真空度高100倍的环境里工作。

在芯片厂干过的表哥说得更直白："EUV就像用头发丝刻《红楼梦》，得把10万个字刻在一根头发上。之前全球只有ASML能造这种设备，他们卖给台湾工厂要1.2亿美金一台，还得美国总统签字批准。"现在哈工大突破的光源系统，相当于自己造出了"激光刻刀"。

最绝的是研发过程的"东北智慧"。团队从松花江冬捕获得灵感，发明了"冰晶聚焦法"——用特殊晶体把激光能量提升百万倍，就像用冰透镜聚焦阳光点燃棉絮。这项绝活让中国成为第三个掌握EUV光源技术的国家。

### 二、冻豆腐里悟出的"光之魔法"：哈工大教授的厨房革命

在哈工大教授老刘家吃过一次酸菜火锅，席间他指着冻豆腐突然兴奋："看这些蜂窝孔！我们EUV技术突破的关键就在这！"原来他们受冻豆腐结构启发，研发出多孔钨靶材。当高能激光轰击这种"蜂窝钨"时，产生的等离子体更稳定，极紫外光强度直接翻倍。

更绝的是除杂装置的设计。团队从东北火炕烟道获得灵感，发明了"九曲回环过滤系统"。就像烧炕时烟气在炕洞回旋沉淀，这套系统能让杂质沉积率从30%降到0.7%，光源纯净度超过ASML最新机型。

连哈尔滨冰雪大世界都贡献了灵感。研发超精密反射镜时，工程师从冰雕铲刀得到启发，发明了纳米级离子修形技术。现在他们打磨的硅钼合金反射镜，表面粗糙度控制在0.12纳米，相当于把长白山主峰磨平成镜面后的起伏不超过1毫米。

### 三、EUV破壁背后的"东北狠活"：零下30度的热血征程

2019年美国禁令下达时，哈工大采购的激光发生器突然断货。团队硬是用学校库存的老式激光器改装，在零下25℃的仓库里做实验。博士生小王记得，有次设备冻罢工了，七八个汉子脱了羽绒服裹住机器，用体温给设备"续命"继续实验。

去年突破光源稳定性的关键阶段，正赶上哈尔滨暴雪。为保持实验室恒温，工程师们把设备搬到防空洞，每天踩着半米深的积雪往返运送液氮。有次突遇停电，几个老师傅轮班手摇发电机，硬是保住了连续48小时的关键数据。

最艰难的是光学系统调试。为达到十万分之一度的温控精度，团队把实验室改造成"三明治结构"——外层是东北传统火墙，中间夹着气凝胶，内部用纳米薄膜控温。这套"土洋结合"的保温系统，让设备在-30℃的极寒中依然保持23±0.0001℃的工作温度。

### 四、从冰城到硅谷：中国光剑正在重塑芯片版图

深圳某芯片代工厂的车间主任老张，年初偷偷试用了国产EUV原型机。虽然每小时只能曝光5片晶圆，但28纳米工艺做出的芯片性能直逼台积电7纳米。"就像用毛笔写出了钢笔字！"他指着显微镜下的电路说，"中国人玩起微雕，果然有老祖宗刻印章的基因。"

在华强北做手机维修的小李更有趣发现：用国产EUV光刻的麒麟芯片，在玩《原神》时温度比进口芯片低5℃。"后来才知道是电路拐角用了'冰凌结构'，就像松花江面的冰裂纹，既美观又利于散热。"

最惊喜的是成本变化。某车企采购总监算过账：用国产EUV设备后，自动驾驶芯片成本有望从800元/片降到300元。这意味着十万级别的电动车也能配L4级自动驾驶，比原计划提前了整整五年。

站在哈工大航天馆的穹顶下，望着墙上"特别能吃苦、特别能战斗、特别能攻关、特别能奉献"的标语，突然明白这场EUV突围战的意义——它不仅是实验室里的技术突破，更是一场中国制造的精神觉醒。从冰雕艺术的微观世界到纳米尺度的光影魔法，这群"追光者"用东北人特有的韧劲，在芯片战场劈开一道希望之光。或许用不了多久，当你在手机上流畅刷4K视频、当新能源汽车自动穿梭大街小巷、当智能手表精准预警健康风险时，这些科技奇迹的源头，都将是那束从松花江畔升起的"中国极光"。

小梅沙

能让芯片电路精细度提升十倍的"激光雕刻术"，研发团队竟是从东北冻豆腐和冰雕艺术中找到的灵感。现在，这场持续二十年的"追光之战"，终于迎来破晓时刻。

小梅沙

这套系统能让杂质沉积率从30%降到0.7%，光源纯净度超过ASML最新机型。

赞比亚院士

这也太牛了

kenwai

这个东西应该转发抖音而不是网大，钨都编出来了，有没有基本的等离子体物理常识，下一步直接吹哈工大水变euv好不好

小梅沙

kenwai 发表于 2025-2-3 16:13
这个东西应该转发抖音而不是网大，钨都编出来了，有没有基本的等离子体物理常识，下一步直接吹哈工大水变eu ...

在哈尔滨南岗区的一栋实验楼里，某教授团队已经与“光”较劲了整整十年。刚开始时，他们连稳定产生极紫外光都做不到，仪器动不动就罢工。团队成员小王回忆道：“有次实验连续72小时没合眼，最后在控制台前直接睡着了。”

经过无数次的尝试和失败，工大团队终于造出了比ASML更亮、更稳定的“人造太阳”。他们独创的“磁约束”技术，就像给这个“小太阳”套上紧箍咒，让能量集中度比传统方法提高3倍。

tianya2088

这篇文章的出处是哪里？？？

逍遥客33

一种以超纯松花江冰晶作为bbo晶体制备超强亮度激光的技术。

小梅沙

tianya2088 发表于 2025-2-3 17:02
这篇文章的出处是哪里？？？

哈工大EUV光源肯定有突破，到什么程度没有官方数据。但一些消息也通过各种渠道慢慢放出来。