外网消息，中国正在自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，和ASML采用的LPP方法不同。在华为东莞工厂进行测试

独孤九剑破刀式

本来无所谓 发表于 2025-3-10 15:09
㓎润式duv是上海微电子在搞，不靠谱，黄的可能性很大。国内duv保有量超过1000台，而且还在进口，duv包括㓎 ...

能进口的都是干式，之前的浸润式DUV保有量并不多

本来无所谓

独孤九剑破刀式 发表于 2025-3-10 15:38
能进口的都是干式，之前的浸润式DUV保有量并不多

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