|
|
AI赋能研发跑出加速度 国产KrF光刻胶树脂研发取得阶段性进展
$ S1 |2 c) S. k! J' t0 ]4 z$ D* f) ^9 {# m4 [
6 r- X: G1 G% t' F4 Q
东南网7月1日讯（本网记者 刘玮 李奇）半导体光刻胶是芯片制造的核心基础材料，长期以来，高端光刻胶相关技术受制于海外，成为我国集成电路产业发展的关键材料之一。近日，上海人工智能实验室牵头，联合厦门大学洪文晶教授团队及国内光刻胶材料企业等合作单位，在KrF光刻胶树脂研发上取得阶段性突破，自研树脂产品多项核心指标对标国际主流产品。" I+ s) R: Z: [' \" d, p0 o3 M' c
+ k& k5 L. N2 B# Y& f8 h
洪文晶同时客观分析了产业转化的客观规律。他坦言，人工智能能够极大加快实验室原始创新的速度，但光刻胶属于超高精度新材料产品，从样品研发成功到投入芯片工厂规模化使用，必须经过长期、严格的产线可靠性验证，这一环节目前无法借助技术手段缩短周期。目前，和相关企业已完成树脂配方适配，项目将进入产线验证阶段。
& ~0 a* R& V( ~
, e5 O; V. O8 @: [& x0 ] K) r# t在项目团队看来，本次攻关的价值，远不止实现一款光刻胶树脂的国产化，更在于打造出一套自主可控的新材料智能研发工具。这套技术体系通用性强，除了继续助力更高端光刻胶研发之外，还可广泛应用于各类高端电子化学品领域。
6 ~5 |6 F- l, C3 V4 q
; A% F$ f0 }% [7 N6 N$ ^* j3 i目前，团队依托这套研发模式，已完成多款电子化学品相关研发储备，相关成果不久将对外公布。虽然品类不同，但这套研发体系具备通用价值，将持续助力国内全品类光刻胶技术加速向前追赶。
5 B" B$ R3 W U5 }; P
" u& Y0 x4 t2 j# p5 l放眼长远，厦门大学还在持续拓展新型研发模式的应用场景。如今，团队已将相关技术延伸至新能源领域，开展电池粘结剂、隔膜、电解液等全链条材料研发，同时尝试运用新技术研发高端实验仪器。3 v5 q7 N8 W4 @8 v6 V" a& b
5 w3 M; T6 f' X: p5 q7 C
2 i& x$ X, F$ p" i& j& I2 h+ K9 t
http://xm.fjsen.com/2026-07/01/content_32211203.htm
1 G V0 s2 o" T1 x2 c G3 q |
|
[复制链接]
楼主
发表于 