10月9日至11日，第四届先进光刻流体力学研讨会在合肥成功举办。会议由国家自然科学基金委员会“极端流动的多过程问题研究”基础科学中心、中国科学技术大学工程科学学院主办。来自上海交通大学、中国科学院力学研究所、南方科技大学、清华大学、上海大学、张江实验室、西安交通大学、中国科学技术大学等13家高校和科研机构的35位专家参加会议。中国科学技术大学丁航教授担任会议主席，高鹏教授主持开幕式。
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& _6 }# b1 K$ C# t$ q" \会议围绕先进光刻中的流体力学问题开展专题研讨，报告主题涵盖极紫外光刻光源中的液滴生成、激光与液滴相互作用、碎屑输运与污染防护及非平衡辐射过程，浸没式深紫外光刻中的超薄液膜演化与液滴动力学，以及光刻装备中的稀薄气体流动与流固热耦合等。围绕上述问题，与会专家分享了原位多参数激光光谱测量等实验诊断方法，以及辐射两相流建模、数据同化反演、非平衡流动粒子算法、带相变的移动界面模拟等建模与计算方法的研究进展。上海交通大学刘应征教授、中国科学院力学研究所副所长王展研究员、上海大学周全教授、中国科学技术大学闫锐教授、南方科技大学邓巍巍教授分别主持专题报告，组织与会人员开展深入讨论。 高鹏在总结讲话中对与会专家及会务人员表示感谢。他指出，多个参会团队已深入参与国内光刻领域重点企业的科研项目，围绕实际需求着力解决关键科学技术问题，体现了研讨会在连接基础研究与工程应用中的积极作用。他希望以此次研讨会为契机，进一步加强高校、科研机构与光刻领域重点企业之间的交流合作，推动流体力学前沿研究与先进光刻技术需求紧密结合，为我国先进光刻技术发展提供有力支撑。 " d* ~+ M- F% H5 w T
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